氮掺杂对DLC的表面形貌与光学性能的影响
氮掺杂对DLC的表面形貌与光学性能的影响摘要：本论文采用直流磁控溅射，以Ar或Ar与N2为工作气体溅射高纯石墨靶材制备了DLC及DLC:N薄膜。通过改变溅射功率，沉积气压和和工作气体等实验参数，以使得到的碳膜呈现出不同的表面...
关于DLC的学习知识
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